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中国研制成功世界首个深紫外固态激光器

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发表于 2013-9-15 20:19:44 | 显示全部楼层 |阅读模式
中国社科院推出深紫外固态激光装备,从而使中国成为世界上首个拥有此项技术的国家。社科院院长白春礼称,这一装备的成功测试表明社科院专注于重大创新并取得了突破性进展。氟硼酸钾(KBBF)的使用曾经令这一项目止步不前,中国社科院院士陈闯天和中国工程院院士徐祖元一道前往香港科技大学寻求帮助。徐祖元说他们被允许使用他们的设备,当时中国大陆研究院并没有此类实验室。经过艰苦努力后,他们最终发明了KBBF棱镜耦合装备。
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 楼主| 发表于 2013-9-15 20:19:55 | 显示全部楼层
  1) 真空紫外激光超高能量分辨率光电子能谱仪:借助这台激光光电子能谱仪的超高分辨率,我们能够更仔细地了解固体的特性,这将大大促进人们对固体材料中各种奇异电子特性的了解。   2)推动193nm光刻技术的发展:193nm光刻技术是目前大规模集成电路制造业中的主流技术,在这一技术中,要求有两种光源:一种是照明光源,一种是高精度母版制作所需的相干光源。目前由于没有适合的全固态激光光源,因此多数使用电子束光刻技术,但效率低,成本高。如果能够获得100mW的193nm的全固态窄带宽相干光源,将有可能取代电子束用于集成电路母版制作。   3)化学动力学研究:深紫外全固态激光源由于每个光子能量高,线宽窄,从而将在分子的激发光分解、自由基反应,超激发态分子等方面开拓新的研究领域。这一光源比现有的同步辐射、原子灯深紫外光源在能量分辨率、光子流密度、偏振特性等方面有很大的优越性。   4)光电子发射显微镜:使用177.3nm的激光源,通过激发固态表面电子并使用磁场对电子路径的控制,并通过光电倍增管成像,将大大提高表面成像的分辨率和对各种图像的物理、化学内涵解释。 摘自百度
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